АКогда вакуумная камера откачивается до давления обнаружения утечки, течеискатель соединяется с вакуумной камерой, и заготовка заполняется гелием. Если в проверяемой заготовке есть утечка, гелий попадет в вакуумную камеру через отверстие утечки и, наконец, попадет в течеискатель гелия для обнаружения. После завершения обнаружения гелий в заготовке восстанавливается для достижения цели экономии гелия. После завершения проверки квалифицированная заготовка заполняется SF6 при установленном давлении, а неквалифицированная заготовка соответственно обрабатывается во всплывающем интерфейсе неквалифицированной обработки.

АМинимальная обнаруживаемая скорость утечки: 2x10-13 Па·м3/с Минимальная обнаруживаемая скорость утечки всасывающего пистолета: 5x10 -9 Па·м3/с Давление в отверстии обнаружения утечки: ：простое обнаружение (2000 Па) / промежуточный осмотр (200 Па) / тонкий осмотр (40 Па) Время запуска: ≤100 с Мундштук: RS-232/485 Источник питания: 220 В ± 10 % / 50 Гц Язык: китайский/английский Рабочее состояние: температура 5-40 ℃, относительная влажность ≤75 % Диапазон отображения скорости утечки: 1x10-²~1x10-13 Па·м/с Диапазон отображения скорости утечки всасывания пистолет: 1x10-2~1x10-9Па·м3/с Характеристики порта обнаружения утечек: KF25 Время отклика: ≤0,3 с Интерфейс ввода/вывода: цифровой и аналоговый ввод/вывод Максимальная мощность: 950 Вт Единицы измерения: Па·м³/с; мбар·л/с; атм·см3/с; ppm Вес: ≤110 кг

АПроверьте механический насос и соединительную цепь на предмет избыточного рабочего тока группы вакуумного насоса коробки механического насоса

АПроверьте рабочий ток насоса Рутса в группе вакуумных насосов коробки на предмет превышения тока, а также насос Рутса и его соединительную цепь.

АПроверьте насос утечки и его соединительную цепь на предмет чрезмерного рабочего тока группы насоса обнаружения утечек.

АРабочий ток рециркуляционного насоса слишком высокий. Проверьте рециркуляционный насос и его соединительную цепь.

АПроверьте компрессор и соединительную цепь на предмет чрезмерного рабочего тока.