UMQuando a câmara de vácuo é bombeada para a pressão de detecção de vazamento, o detector de vazamento é conectado à câmara de vácuo e a peça de trabalho é preenchida com hélio. Se houver um vazamento na peça de trabalho inspecionada, o hélio entrará na câmara de vácuo através do orifício de vazamento e, finalmente, chegará ao detector de vazamento de hélio para ser detectado. Após a detecção ser concluída, o hélio na peça de trabalho é recuperado para atingir o propósito de economizar hélio. Após a conclusão da inspeção, a peça de trabalho qualificada é preenchida com SF6 na pressão definida e a peça de trabalho não qualificada é operada adequadamente na interface de processamento não qualificada pop-up.

UMTaxa mínima de vazamento detectável: 2x10-13Pa·m3/s Taxa mínima de vazamento detectável da pistola de sucção: 5x10 -9Pa·m3/s Pressão na porta de detecção de vazamento: ：detecção simples (2000Pa)/inspeção intermediária (200Pa)/inspeção fina (40Pa) Tempo de inicialização: ≤100S Bocal: RS-232/485 Fonte de alimentação: 220V±10％/50HZ Idioma: Chinês/Inglês Condições de trabalho: Temperatura 5-40℃, Umidade relativa ≤75％ Faixa de exibição da taxa de vazamento: 1x10-²~1x10-13Pa·m/s Faixa de exibição da taxa de vazamento de sucção pistola：1x10-2~1x10-9Pa·m3/s Especificações da porta de detecção de vazamento ：KF25 Tempo de resposta ：≤0.3S Interface de entrada/saída ：E/S digital e analógica Potência máxima ：950W Unidades de exibição ：Pa·m³/s；mbar·l/s；atm·cc/s；ppm Peso ：≤110kg

UMVerifique a bomba mecânica e o circuito de conexão quanto à corrente de trabalho excessiva do grupo da bomba de vácuo da caixa

UMVerifique a corrente de trabalho da bomba Roots no grupo da bomba de vácuo da caixa para corrente excessiva, bem como a bomba Roots e seu circuito de conexão

UMVerifique a bomba de vazamento e seu circuito de conexão quanto à corrente de trabalho excessiva do grupo da bomba de detecção de vazamento

UMA corrente de trabalho da bomba de reciclagem é muito alta. Verifique a bomba de reciclagem e seu circuito de conexão

UMVerifique o compressor e o circuito de conexão quanto a corrente de trabalho excessiva