UNQuando la camera a vuoto viene pompata alla pressione di rilevamento delle perdite, il rilevatore di perdite viene collegato alla camera a vuoto e il pezzo viene riempito di elio. Se c'è una perdita nel pezzo ispezionato, l'elio entrerà nella camera a vuoto attraverso il foro di perdita e infine arriverà al rilevatore di perdite di elio per essere rilevato. Dopo che il rilevamento è completato, l'elio nel pezzo viene recuperato per raggiungere lo scopo di risparmiare elio. Dopo che l'ispezione è completata, il pezzo qualificato viene riempito con SF6 alla pressione impostata e il pezzo non qualificato viene azionato di conseguenza nell'interfaccia di elaborazione non qualificata a comparsa.

UNTasso di perdita minimo rilevabile: 2x10-13Pa·m3/s Tasso di perdita minimo rilevabile della pistola di aspirazione: 5x10 -9Pa·m3/s Pressione alla porta di rilevamento perdite: rilevamento semplice (2000Pa)/ispezione intermedia (200Pa)/ispezione fine (40Pa) Tempo di avvio: ≤100S Boccaglio: RS-232/485 Alimentazione: 220V±10%/50HZ Lingua: cinese/inglese Condizioni di lavoro: temperatura 5-40℃, umidità relativa ≤75% Intervallo di visualizzazione del tasso di perdita: 1x10-²~1x10-13Pa·m/s Intervallo di visualizzazione del tasso di perdita della pistola di aspirazione: 1x10-2~1x10-9Pa·m3/s Specifiche della porta di rilevamento perdite: KF25 Tempo di risposta: ≤0,3S Interfaccia di ingresso/uscita: I/O digitale e analogico Potenza massima: 950 W Unità di visualizzazione: Pa·m³/s; mbar·l/s; atm·cc/s; ppm Peso: ≤110 kg

UNControllare la pompa meccanica e il circuito di collegamento per una corrente di lavoro eccessiva del gruppo pompa per vuoto della pompa meccanica

UNControllare la corrente di lavoro della pompa Roots nel gruppo pompa per vuoto a scatola per corrente eccessiva, nonché la pompa Roots e il suo circuito di collegamento

UNControllare la pompa di perdita e il suo circuito di collegamento per una corrente di lavoro eccessiva del gruppo pompa di rilevamento perdite

UNLa corrente di lavoro della pompa di riciclo è troppo alta. Controllare la pompa di riciclo e il suo circuito di collegamento

UNControllare il compressore e il circuito di collegamento per una corrente di lavoro eccessiva