UNLorsque la chambre à vide est pompée jusqu'à la pression de détection de fuite, le détecteur de fuite est connecté à la chambre à vide et la pièce est remplie d'hélium. S'il y a une fuite dans la pièce inspectée, l'hélium pénètre dans la chambre à vide par le trou de fuite et arrive finalement au détecteur de fuite d'hélium pour être détecté. Une fois la détection terminée, l'hélium de la pièce est récupéré pour atteindre l'objectif d'économie d'hélium. Une fois l'inspection terminée, la pièce qualifiée est remplie de SF6 à la pression définie et la pièce non qualifiée est exploitée en conséquence dans l'interface de traitement non qualifiée contextuelle.

UNTaux de fuite minimum détectable ：2x10-13Pa·m3/s Taux de fuite minimum détectable du pistolet d'aspiration ：5x10 -9Pa·m3/s Pression au port de détection de fuite : ：détection simple (2000Pa)/inspection intermédiaire (200Pa)/inspection fine (40Pa) Temps de démarrage ：≤100S Embout buccal ：RS-232/485 Alimentation électrique ：220V±10％/50HZ Langue ：Chinois/anglais Conditions de travail ：Température 5-40℃，Humidité relative ≤75％ Plage d'affichage du taux de fuite ：1x10-²~1x10-13Pa·m/s Plage d'affichage du taux de fuite du pistolet d'aspiration : 1x10-2~1x10-9Pa·m3/s Détection de fuite Spécifications du port : KF25 Temps de réponse : ≤ 0,3 S Interface d'entrée/sortie : E/S numérique et analogique Puissance maximale : 950 W Unités d'affichage : Pa·m³/s；mbar·l/s；atm·cc/s；ppm Poids : ≤ 110 kg

UNVérifiez la pompe mécanique et le circuit de connexion pour détecter un courant de travail excessif de la pompe mécanique du groupe de pompes à vide du boîtier

UNVérifiez le courant de fonctionnement de la pompe Roots dans le groupe de pompes à vide du boîtier pour détecter tout courant excessif, ainsi que la pompe Roots et son circuit de connexion

UNVérifiez la pompe de fuite et son circuit de connexion pour détecter un courant de travail excessif du groupe de pompes de détection de fuite

UNLe courant de fonctionnement de la pompe de recyclage est trop élevé. Vérifiez la pompe de recyclage et son circuit de raccordement.

UNVérifiez le compresseur et le circuit de connexion pour détecter un courant de travail excessif