ACuando la cámara de vacío se bombea a la presión de detección de fugas, el detector de fugas se conecta con la cámara de vacío y la pieza de trabajo se llena con helio. Si hay una fuga en la pieza de trabajo inspeccionada, el helio ingresará a la cámara de vacío a través del orificio de fuga y finalmente llegará al detector de fugas de helio para ser detectado. Una vez completada la detección, el helio en la pieza de trabajo se recupera para lograr el propósito de ahorrar helio. Una vez completada la inspección, la pieza de trabajo calificada se llena con SF6 a la presión establecida y la pieza de trabajo no calificada se opera en consecuencia en la interfaz de procesamiento emergente no calificada.

ATasa mínima de fuga detectable: 2x10-13 Pa·m3/s Tasa mínima de fuga detectable de la pistola de succión: 5x10 -9 Pa·m3/s Presión en el puerto de detección de fugas: : detección simple (2000 Pa)/Inspección intermedia (200 Pa)/Inspección fina (40 Pa) Tiempo de inicio: ≤100 S Boquilla: RS-232/485 Fuente de alimentación: 220 V ± 10 %/50 Hz Idioma: chino/inglés Condiciones de trabajo: Temperatura 5-40 ℃, Humedad relativa ≤75 % Rango de visualización de la tasa de fuga: 1x10-²~1x10-13 Pa·m/s Rango de visualización de la tasa de fuga de la pistola de succión: 1x10-2~1x10-9 Pa·m3/s Especificaciones del puerto de detección de fugas: KF25 Tiempo de respuesta: ≤0,3 s Interfaz de entrada/salida: E/S digital y analógica Potencia máxima: 950 W Unidades de visualización: Pa·m³/s; mbar·l/s; atm·cc/s; ppm Peso: ≤110 kg

AVerifique la bomba mecánica y el circuito de conexión para detectar una corriente de trabajo excesiva del grupo de bomba de vacío de la caja de la bomba mecánica.

ACompruebe la corriente de trabajo de la bomba Roots en el grupo de la bomba de vacío de la caja para detectar corriente excesiva, así como la bomba Roots y su circuito de conexión.

AVerifique la bomba de detección de fugas y su circuito de conexión para detectar una corriente de trabajo excesiva del grupo de bombas de detección de fugas.

ALa corriente de trabajo de la bomba de reciclaje es demasiado alta. Verifique la bomba de reciclaje y su circuito de conexión.

AVerifique el compresor y el circuito de conexión para detectar una corriente de trabajo excesiva.