أعندما يتم ضخ غرفة التفريغ إلى ضغط اكتشاف التسرب، يتم توصيل كاشف التسرب بغرفة التفريغ، ويتم ملء قطعة العمل بالهيليوم. إذا كان هناك تسرب في قطعة العمل التي تم فحصها، فسوف يدخل الهيليوم إلى غرفة التفريغ من خلال فتحة التسرب، ويصل أخيرًا إلى كاشف تسرب الهيليوم للكشف عنه. بعد اكتمال الكشف، يتم استعادة الهيليوم الموجود في قطعة العمل لتحقيق غرض توفير الهيليوم. بعد اكتمال الفحص، يتم ملء قطعة العمل المؤهلة بـ SF6 عند الضغط المحدد، ويتم تشغيل قطعة العمل غير المؤهلة وفقًا لذلك في واجهة المعالجة غير المؤهلة المنبثقة.

أأدنى معدل تسرب يمكن اكتشافه: 2x10-13Pa·m3/s أدنى معدل تسرب يمكن اكتشافه لبندقية الشفط: 5x10-9Pa·m3/s الضغط عند منفذ اكتشاف التسرب:: اكتشاف بسيط (2000Pa)/فحص متوسط (200Pa)/فحص دقيق (40Pa) وقت بدء التشغيل: ≤100S الفوهة: RS-232/485 مصدر الطاقة: 220V±10٪/50HZ اللغة: صينية/إنجليزية ظروف العمل: درجة الحرارة 5-40 درجة مئوية، الرطوبة النسبية ≤75٪ نطاق عرض معدل التسرب: 1x10-²~1x10-13Pa·m/s نطاق عرض معدل التسرب لبندقية الشفط: 1x10-2~1x10-9Pa·m3/s مواصفات منفذ اكتشاف التسرب: KF25 وقت الاستجابة :≤0.3S واجهة الإدخال/الإخراج: إدخال/إخراج رقمي وتناظري الحد الأقصى للطاقة:950 واط وحدات العرض:باسكال·م³/ثانية؛مليبار·لتر/ثانية؛ضغط جوي·سم مكعب/ثانية؛جزء في المليون الوزن:≤110 كجم

أفحص المضخة الميكانيكية ودائرة التوصيل بحثًا عن تيار عمل زائد لمجموعة مضخة التفريغ الصندوقية للمضخة الميكانيكية

أتحقق من تيار عمل مضخة Roots في مجموعة مضخة التفريغ الصندوقية بحثًا عن تيار زائد، وكذلك مضخة Roots ودائرة التوصيل الخاصة بها

أفحص مضخة التسرب ودائرة التوصيل الخاصة بها بحثًا عن تيار عمل زائد لمجموعة مضخة اكتشاف التسرب

أتيار التشغيل لمضخة إعادة التدوير مرتفع للغاية. تحقق من مضخة إعادة التدوير ودائرة التوصيل الخاصة بها

أفحص الضاغط ودائرة التوصيل بحثًا عن تيار العمل الزائد